郑州元素工具研发生产的环形金刚石线锯和金刚石多线锯在切割蓝宝石切片表面粗糙度及晶片总厚度偏差及表面形貌影响的分析说明:蓝宝石基片的原材料是晶棒,晶棒由蓝宝石晶体加工而成,环形金刚石纱线的用处,其相关制作流程有:定向--掏棒--切片--研磨--倒角--抛光--清晰--品鉴,其中切割工序位于整个流程的较前端,环形金刚石纱线,切割加工的好坏直接影响后续加工。切割蓝宝石多使用金刚石多线锯,切割加工的运动是往复的。由于线锯需要换向,所以线锯速度低且经常变化,这带来两个问题:一是线速度低,限制加工效率;二是材料加工表面存在线锯换向时的痕迹,影响表面质量。使用环形金刚石线锯具有切割效率高,切割效果好的优势,切割厚度较薄在0.2毫米,切割表面粗糙度在1微米以下,约半小时时间可切断直径53毫米的晶棒。增大张紧力,有助于减少锯丝的振动,也可提高晶片表面的质量。
郑州元素工具有限公司有关环形金刚石锯切表面粗糙度说明分析:锯切运动方式对锯切表面粗糙度的影响程度很大,无论是**玻璃还是单晶硅,环形线锯丝锯切表面光滑平整、无崩碎现象,表面粗粗度达Ra0.8。由于环形线锯丝单方向连续运动,元素工具环形金刚石纱线,运动速度大,磨粒相对切割表面运动轨迹各不相同,环形金刚石纱线的厂家,实际上也均化原始误差,使表面切割纹理没有明显规律性。磨粒尺寸越小,切削深度越小,得到的加工表面质量越高。使用更小粒度金刚石磨粒制造的线锯丝,应当能够进一步减小加工表面粗糙度。因此环形线锯丝切割表面面形精度更高。